라온테크1 라온테크, IPO 분석, 반도체용 로봇 국산화 관련주 국산화 수혜가 기대되는 진공로봇 특화 기업 라온테크 매출의 82%를 담당하는 웨이퍼 이송 모듈은 크게 ① EFEM 모듈과 ② 진공 Backbone으로 구분할 수 있다. ① EFEM(Equipment Front End Module)은 대기 (atmosphere)환경에서 웨이퍼를 이송하는 장치을 말하며, ② 진공 Backbone은 대기환경 에서 전달된 웨이퍼를 진공(vacuum)환경 내에서 각각의 공정 챔버(chamber)로 이송하 는 진공이송모듈과 모듈 중앙에서 로봇팔 역할을 담당하는 진공로봇을 의미한다. Backbone의 핵심인 진공로봇은 일반적인 대기환경 로봇과 달리 고온(200~700 ℃)과 진공(10-5 tor) 환경에서 Particle(불순물) 발생없이 웨이퍼를 이송해야하는 기술적 어려 움이 있는.. 2021. 5. 26. 이전 1 다음